SiC涂层石墨基座常用于金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备中支撑和加热单晶衬底的部件。SiC涂层石墨基座的热稳定性、热均匀性等性能参数对外延材料生长的质量起到决定性作用，因此是MOCVD设备的核心关键部件。关键词：在晶圆制造过程中，一些晶圆衬底上要进一步构建外延层以便于制造器件，典型的有LED发光器件，需要在硅衬...

一、Cf/SiC复合材料的特点Cf/SiC复合材料是指由碳纤维作为增强体，碳化硅作为连续基体的一类新型复合材料。Cf/SiC复合材料不仅具有高性能陶瓷的高强度、高模量、高硬度、耐冲击、抗氧化、耐高温、耐酸碱、热膨胀系数小、比重轻等优点，同时还克服了一般陶瓷材料的脆性大、功能单一等缺点，是公认的理想高温结构材料和摩擦材...

所谓复合材料是指由两种或两种以上的组分材料，运用一定的工艺技术制备组合而成的多相新材料体系，其综合性能优于各自组分材料。先进复合材料指用高性能增强体如碳纤维、芳纶等高性能耐热高聚物构成的复合材料，包括金属基、陶瓷基和碳(石墨)基以及功能复合材料，复合材料的各个组成材料在性能上起协同作用，与传统材料相比...